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01.08.2012 | NANOMETROLOGY | Ausgabe 5/2012

Measurement Techniques 5/2012

Measurement of the linear dimensions of nanorelief elements with a trapezoidal profile by defocusing the electron beam of a scanning electron microscope

Zeitschrift:
Measurement Techniques > Ausgabe 5/2012
Autoren:
V. P. Gavrilenko, A. Yu. Kuzin, Yu. V. Larionov, V. B. Mityukhlyaev, A. V. Rakov, P. A. Todua, M. N. Filippov
Wichtige Hinweise
Translated from Izmeritel’naya Tekhnika, No. 5, pp. 19–21, May, 2012.
It is shown experimentally that it is possible to use a method of measuring the geometrical dimensions of nanorelief elements, based on defocusing of the electron beam of a scanning electron microscope, in order to measure the upper base of a trapezoidal protuberance with a width close to the beam diameter.

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Literatur
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