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Measurement Techniques

Erschienen in:

15.11.2016

Measurement of the Thickness Nonuniformity of Nanofilms Using an Electron Probe Method

verfasst von: S. A. Darznek, A. Yu. Kuzin, V. B. Mityukhlyaev, M. A. Stepovich, P. A. Todua, M. N. Filippov

Erschienen in: Measurement Techniques | Ausgabe 8/2016

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Abstract

We propose an electron-probe method for measuring thickness nonuniformity in nanofilms, using the dependence of the ratio of the intensities of the characteristic x-ray film elements on its thickness. The calibration dependence is computed simulating the interaction of electrons with the sample by a Monte-Carlo method.

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R. W. Johnson, A. Hultqvist, and S. F. Bent, “A brief review of atomic layer deposition: from fundamentals to applications,” Mater. Today, 17, No. 5, 236–246 (2014).CrossRef

V. P. Gavrilenko, A. Y. Kuzin, V. B. Mityukhlyaev, et al., “Measurement of the thickness of oxide fi lm on a silicon surface using the electron-probe method,” Izmer. Tekhn., No. 9, 13–16 (2016).

K. Kanaya and S. Okayama, “Penetration and energy-loss theory of electrons in solid targets,” J. Phys. D: Appl. Phys., 5, 43–58 (1972).ADSCrossRef

G. H. Zschornack, Handbook of x-Ray Data, Springer Science & Business Media, London (2007).

M. Procop, M. Radtke, M. Krumrey, and K. Hasche, “Electron probe microanalysis (EPMA) measurement of thin-film thickness in the nanometre range,” Analyt. Bioanalyt. Chem., 374, No. 4, 631–634 (2002).CrossRef

C. S. Campos, M. A. Z. Vasconcellos, X. Llovet, and F. Salvat, “Thickness determination of ultra-thin films on Si substrates by EPMA,” Microchim. Acta, 145, No. 1–4, 13–17 (2004).CrossRef

D. C. Joy, Monte Carlo Modeling for Electron Microscopy and Microanalysis, Univ. Press, Oxford (1995).

D. C. Joy and S. Luo, “An empirical stopping power relationship for low-energy electrons,” Scanning, 11, No. 4, 176–180 (1989).

C. Merlet, “Maximum of the x-ray depth distribution in EPMA at normal incidence: an analytical expression,” Microbeam Analysis, 4, 239–253 (1995).MathSciNet

10.

GOST R 8.736-2011, GSI. Direct Measurements Repeated. Methods for Processing Measurement Results. The Main Provisions.

Titel: Measurement of the Thickness Nonuniformity of Nanofilms Using an Electron Probe Method
verfasst von: S. A. Darznek
A. Yu. Kuzin
V. B. Mityukhlyaev
M. A. Stepovich
P. A. Todua
M. N. Filippov
Publikationsdatum: 15.11.2016
Verlag: Springer US
Erschienen in: Measurement Techniques / Ausgabe 8/2016
Print ISSN: 0543-1972
Elektronische ISSN: 1573-8906
DOI: https://doi.org/10.1007/s11018-016-1051-9

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