Skip to main content
main-content

Tipp

Weitere Artikel dieser Ausgabe durch Wischen aufrufen

24.01.2015 | Technical Paper | Ausgabe 4/2016

Microsystem Technologies 4/2016

MEMS-based monolithic three-axis fiber-optic acceleration sensor

Zeitschrift:
Microsystem Technologies > Ausgabe 4/2016
Autoren:
Xiaowei Wang, Shaolong Zhong, Jing Xu, Yaming Wu

Abstract

In this paper, a MEMS-based monolithic three-axis fiber-optic acceleration sensor is proposed, consisting of three optical fiber collimators and a three-axis acceleration sensing chip. The novel acceleration sensor includes two horizontal sensing units and one vertical sensing unit integrated on a single silicon substrate. Three optical fiber collimators are on the same side of the three-axis sensing chip, thus reducing the package size and cost. In each sensing unit, the micromirror, suspended on a pair of torsion beams, has a torsional angle in response to acceleration in sensing direction. The torsion angle is monitored using fiber-optic detection technique. The sensing system operation principle has been analyzed theoretically, its mechanical performances were simulated using the FEM simulation, and its fabricated process flow was proposed. Using bulk micromachining technologies, the horizontal and the vertical sensing units were successfully fabricated. Finally the individual fabricated sensing units were packaged and tested.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu diesem Inhalt zu erhalten

Sie möchten Zugang zu diesem Inhalt erhalten? Dann informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit dem Kombi-Abo erhalten Sie vollen Zugriff auf über 1,8 Mio. Dokumente aus mehr als 61.000 Fachbüchern und rund 500 Fachzeitschriften aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit dem Technik-Abo erhalten Sie Zugriff auf über 1 Mio. Dokumente aus mehr als 40.000 Fachbüchern und 300 Fachzeitschriften aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Maschinenbau + Werkstoffe

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Literatur
Über diesen Artikel

Weitere Artikel der Ausgabe 4/2016

Microsystem Technologies 4/2016Zur Ausgabe

BranchenIndex Online

Die B2B-Firmensuche für Industrie und Wirtschaft: Kostenfrei in Firmenprofilen nach Lieferanten, Herstellern, Dienstleistern und Händlern recherchieren.

Whitepaper

- ANZEIGE -

INDUSTRIE 4.0

Der Hype um Industrie 4.0 hat sich gelegt – nun geht es an die Umsetzung. Das Whitepaper von Protolabs zeigt Unternehmen und Führungskräften, wie sie die 4. Industrielle Revolution erfolgreich meistern. Es liegt an den Herstellern, die besten Möglichkeiten und effizientesten Prozesse bereitzustellen, die Unternehmen für die Herstellung von Produkten nutzen können. Lesen Sie mehr zu: Verbesserten Strukturen von Herstellern und Fabriken | Konvergenz zwischen Soft- und Hardwareautomatisierung | Auswirkungen auf die Neuaufstellung von Unternehmen | verkürzten Produkteinführungszeiten
Jetzt gratis downloaden!

Bildnachweise