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2014 | OriginalPaper | Buchkapitel

MEMS Flow Sensor Based on a Sigma–Delta Modulator Embedded in the Thermal Domain

verfasst von : M. Piotto, A. N. Longhitano, F. Del Cesta, P. Bruschi

Erschienen in: Sensors and Microsystems

Verlag: Springer International Publishing

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Abstract

A system for gas flow measurement, based on MEMS flow sensing microstructures and a sigma–delta interface, is described. The sensing structures consist of double-heater differential microcalorimeters, obtained by means of a post-processing procedure applied to chips fabricated using the Bipolar-CMOS-DMOS process BCD6s of STMicroelectronics. Part of the sigma–delta modulator is implemented in the thermal domain by exploiting the versatility of the double-heater sensing structures. The measurements performed in nitrogen flow prove the effectiveness of the proposed approach.

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Literatur
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Metadaten
Titel
MEMS Flow Sensor Based on a Sigma–Delta Modulator Embedded in the Thermal Domain
verfasst von
M. Piotto
A. N. Longhitano
F. Del Cesta
P. Bruschi
Copyright-Jahr
2014
DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-319-00684-0_58

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