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2018 | OriginalPaper | Buchkapitel

13. Messtechnik

verfasst von : Michael Aust, Dirk Stanischewski

Erschienen in: Reinraumtechnik

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

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Zusammenfassung

Die Qualität von Reinräumen wird über eine Vielzahl durch eine Mehrzahl von Messgrößen definiert, s. Abb. 13.1. Die entsprechenden produktrelevanten oder prozesskritischen Parameter sollten deshalb zusammen mit arbeitsplatzspezifischen Richtwerten und einem Hinweis auf gesetzliche Regelungen in der Planungsphase festgelegt werden (DIN ISO EN 14644-4 [1]).

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Fußnoten
1
Hierbei ist zu beachten, dass die Regelung des Druckes auf den Sollwert einen zum Teil erheblichen Zeitbedarf hat, so dass ausreichend Zeit bis zur Stabilisierung der Messwerte eingeplant werden sollte. Es ist empfehlenswert, den Druck über einen gewissen Zeitraum nach der Stabilisierung aufzuzeichnen und zu beurteilen, so dass zufällige Effekte ausgeschlossen werden können.
 
Literatur
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Comission Electrotechnique Internationale CISPR 16-1, Specification for Radio Disturbance and Immunity Measuring Instruments (1997)
Metadaten
Titel
Messtechnik
verfasst von
Michael Aust
Dirk Stanischewski
Copyright-Jahr
2018
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Buch
Reinraumtechnik

Print ISBN: 978-3-662-54914-8

Electronic ISBN: 978-3-662-54915-5

Copyright-Jahr: 2018

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-662-54915-5_13

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