22. Methoden der Oberflächenanalyse

Die verschiedenen Verfahren der Oberflächenanalyse ermöglichen Fremdschichten oder Fremdpartikel auf der Oberfläche elektrischer Kontakte festzustellen und gegebenenfalls ihre Zusammensetzung zu bestimmen. Die Untersuchungsmethoden werden sowohl im Rahmen der Entwicklung und Qualitätskontrolle als auch zur Aufklärung von Schadensfällen angewandt. Die Methoden der Oberflächenanalyse erstrecken sich von der Rasterelektronenmikroskopie (REM) und angeschlossener Röntgenanalyse (EDX bzw. WDX) zu den noch empfindlicheren Prüfmethoden, wie Augerelektronenspektroskopie (AES), Photoelektronenspektroskopie (XPS) und Sekundärmassenspektroskopie (SIMS). Zur Prüfung des Schichtdickenverlaufs bei der kontinuierlichen selektiven Beschichtung wird meist die Röntgenfluoreszensanalyse (RFA) „online“ in Fertigungslinien eingesetzt. Die verschiedenenVerfahren der Oberflächenanalyse und ihr praktischer Einsatz im Bereich der elektrischen Kontakte werden beschrieben.