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Erschienen in: Automation and Remote Control 12/2015

01.12.2015 | Sensors And Systems

Methodic errors of microelectromechanical pressure sensors in isotropic modeling of the elastic properties of single-crystal silicon

verfasst von: A. R. Bestugin, I. A. Kirshina, P. A. Okin, O. M. Filonov

Erschienen in: Automation and Remote Control | Ausgabe 12/2015

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Metadaten
Titel
Methodic errors of microelectromechanical pressure sensors in isotropic modeling of the elastic properties of single-crystal silicon
verfasst von
A. R. Bestugin
I. A. Kirshina
P. A. Okin
O. M. Filonov
Publikationsdatum
01.12.2015
Verlag
Pleiades Publishing
Erschienen in
Automation and Remote Control / Ausgabe 12/2015
Print ISSN: 0005-1179
Elektronische ISSN: 1608-3032
DOI
https://doi.org/10.1134/S0005117915120140

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