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2023 | OriginalPaper | Buchkapitel

Microchannel Induced Tailoring of Bandwidth of Push-Pull Capacitive MEMS Accelerometer

verfasst von : Nidhi Gupta, Siva Rama Krishna Vanjari, Shankar Dutta

Erschienen in: Microactuators, Microsensors and Micromechanisms

Verlag: Springer International Publishing

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Abstract

High quality capacitive accelerometers with appreciable operation bandwidth are being employed in different high-end defence applications. This paper discusses a novel concept of introducing microchannels in the push-pull capacitive accelerometer structure to control the damping arising due to squeeze film effect. The width and depth of the microchannels are varied to study the damping in the accelerometer structure. The damping factor of accelerometer structure is reduced from 50.2 to 2.51 and its corresponding 3 dB bandwidth is improved from 62.24 to 1.26 kHz due to the introduction of the microchannels.

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Metadaten
Titel
Microchannel Induced Tailoring of Bandwidth of Push-Pull Capacitive MEMS Accelerometer
verfasst von
Nidhi Gupta
Siva Rama Krishna Vanjari
Shankar Dutta
Copyright-Jahr
2023
Buch
Microactuators, Microsensors and Micromechanisms

Print ISBN: 978-3-031-20352-7

Electronic ISBN: 978-3-031-20353-4

Copyright-Jahr: 2023

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-031-20353-4_10

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