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18.08.2015 | Ausgabe 12/2015

Journal of Materials Science: Materials in Electronics 12/2015

Micromorphology characterization of copper thin films by AFM and fractal analysis

Zeitschrift:
Journal of Materials Science: Materials in Electronics > Ausgabe 12/2015
Autoren:
Ali Arman, Ştefan Ţălu, Carlos Luna, Azin Ahmadpourian, Mosayeb Naseri, Mehrdad Molamohammadi

Abstract

In this study, Cu thin films with layer thicknesses of 5, 25, and 50 nm were prepared by DC magnetron-sputtering method and their three dimensional (3-D) surface topography were investigated. Concretely, the 3-D surface roughness of samples was studied by atomic force microscopy (AFM), fractal analysis of the 3-D AFM-images and power spectral density (PSD) function. Also the content of thin films was characterized by X-ray diffraction (XRD). The thin films were prepared onto glass and p-type silicon (100) substrates by DC magnetron-sputtering method and were studied over square areas of 4.4 μm × 4.4 μm using AFM and fractal analysis. The 3-D surface morphology revealed the fractal geometry of Cu thin films at nanometer scale, which can be quantitatively estimated by the fractal dimension Df that was determined by cube counting method, based on the linear interpolation type. The results from AFM data indicated the possible presence of superstructures on the growth process of Cu nanostructures that were in relatively good agreement with XRD data and PSD.

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