2016 | OriginalPaper | Buchkapitel
11. Mikro-Nano-Integration
verfasst von : Stephanus Büttgenbach
Erschienen in: Mikrosystemtechnik
Verlag: Springer Berlin Heidelberg
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Auszug
Der Begriff Mikro‐Nano‐Integration beschreibt die Integration von Objekten der Nanotechnologie in Mikrosysteme. Damit entsteht die Möglichkeit, neue innovative Produkte zu entwickeln. Es existiert eine Vielzahl von Definitionen für den Begriff Nanotechnologie, bei denen sich drei wichtige Aspekte abzeichnen:-
Nanotechnologie befasst sich mit Materialien, die in einer oder mehreren Dimensionen Strukturen kleiner als 100 nm aufweisen (1 nm = 10−3␗µm = 10−9 m). Nanoskalige Basisstrukturen sind zum Beispiel Nanopartikel (drei Dimensionen im Nanomaßstab), Nanodrähte, ‐röhrchen und ‐stäbchen (zwei Dimensionen im Nanomaßstab) und Nanoschichten und ‐plättchen (eine Dimension im Nanomaßstab). Nanokomposite, nanokristalline Materialien und Agglomerate (lose gebundene Partikel) sowie Aggregate (stark gebundene Partikel) sind Beispiele für komplexe Nanoobjekte.
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Nanotechnologie beruht auf neuen größenabhängigen Funktionen, die keine Äquivalente in der makroskopischen Welt haben. Demgegenüber stehen Eigenschaften, die bei makroskopischen Objekten vorhanden sind und sich in den Nanometerbereich fortsetzen.
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Nanotechnologie stellt Verfahren bereit, um Nanostrukturen gezielt herzustellen und zu handhaben.