Skip to main content
main-content

Über dieses Buch

Was ist Mikrosystemtechnik? Welche Rolle spielt sie in Technik und Wirtschaft? Welche Produkte gibt es? Wie stellt man sie her?

Mikrosysteme werden heute erfolgreich in vielen Anwendungsfeldern eingesetzt: von der Fahrzeugtechnik über die Biomedizintechnik und Kommunikationstechnik bis zum Umweltschutz. Es sind kleine Produkte mit großer Wirkung: die einzelnen Komponenten können einige Mikrometer groß sein, die ganzen Systeme meist einige Millimeter. Der Autor beschreibt die technische Entwicklung der Mikrosystemtechnik und erläutert an Hand typischer Anwendungen ihre Bauweise, Funktion und Herstellung. Und er geht auf die zukünftigen Trends dieser Schlüsseltechnologie ein.

Inhaltsverzeichnis

Frontmatter

1. Einleitung

Ohne Zusammenfassung
Stephanus Büttgenbach

2. Transistoren und Siliziumtechnologie

Ohne Zusammenfassung
Stephanus Büttgenbach

3. Der piezoresistive Effekt

Ohne Zusammenfassung
Stephanus Büttgenbach

4. Volumenmikromechanik

Ohne Zusammenfassung
Stephanus Büttgenbach

5. LIGA-Verfahren

Ohne Zusammenfassung
Stephanus Büttgenbach

6. Oberflächenmikromechanik

Ohne Zusammenfassung
Stephanus Büttgenbach

7. Reaktives Ionentiefenätzen

Ohne Zusammenfassung
Stephanus Büttgenbach

8. Softlithografie

Ohne Zusammenfassung
Stephanus Büttgenbach

9. Mikrofluidische Chips und Chip-Labore

Ohne Zusammenfassung
Stephanus Büttgenbach

10. Direkte Methoden der Mikrostrukturierung

Ohne Zusammenfassung
Stephanus Büttgenbach

11. Mikro-Nano-Integration

Ohne Zusammenfassung
Stephanus Büttgenbach

12. Ausblick

Ohne Zusammenfassung
Stephanus Büttgenbach

Backmatter

Weitere Informationen

Premium Partner

    Marktübersichten

    Die im Laufe eines Jahres in der „adhäsion“ veröffentlichten Marktübersichten helfen Anwendern verschiedenster Branchen, sich einen gezielten Überblick über Lieferantenangebote zu verschaffen. 

    Bildnachweise