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Über dieses Buch

Was ist Mikrosystemtechnik? Welche Rolle spielt sie in Technik und Wirtschaft? Welche Produkte gibt es? Wie stellt man sie her?

Mikrosysteme werden heute erfolgreich in vielen Anwendungsfeldern eingesetzt: von der Fahrzeugtechnik über die Biomedizintechnik und Kommunikationstechnik bis zum Umweltschutz. Es sind kleine Produkte mit großer Wirkung: die einzelnen Komponenten können einige Mikrometer groß sein, die ganzen Systeme meist einige Millimeter. Der Autor beschreibt die technische Entwicklung der Mikrosystemtechnik und erläutert an Hand typischer Anwendungen ihre Bauweise, Funktion und Herstellung. Und er geht auf die zukünftigen Trends dieser Schlüsseltechnologie ein.

Inhaltsverzeichnis

Frontmatter

1. Einleitung

Stephanus Büttgenbach

2. Transistoren und Siliziumtechnologie

Stephanus Büttgenbach

3. Der piezoresistive Effekt

Stephanus Büttgenbach

4. Volumenmikromechanik

Stephanus Büttgenbach

5. LIGA-Verfahren

Stephanus Büttgenbach

6. Oberflächenmikromechanik

Stephanus Büttgenbach

7. Reaktives Ionentiefenätzen

Stephanus Büttgenbach

8. Softlithografie

Stephanus Büttgenbach

9. Mikrofluidische Chips und Chip-Labore

Stephanus Büttgenbach

10. Direkte Methoden der Mikrostrukturierung

Stephanus Büttgenbach

11. Mikro-Nano-Integration

Stephanus Büttgenbach

12. Ausblick

Stephanus Büttgenbach

Backmatter

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