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01.10.2011 | teilereinigung | Ausgabe 10/2011

JOT Journal für Oberflächentechnik 10/2011

Nano-Partikel im Blick

Reinigungs-Anforderungen in der Halbleiter- und Elektronikindustrie

Zeitschrift:
JOT Journal für Oberflächentechnik > Ausgabe 10/2011
Autoren:
Dr. Rolf Treichler, Dr. Winfried Holzapfel, Reinhard Lemme
Reinigungsprozesse in der Bauelement-Fertigung der Halbleiter- und Elektronikindustrie erfordern hohe Präzision und besondere Kontrollmethoden. Strenge Sauberkeitsvorgaben sichern die Qualität im Herstellungsprozess und zugleich die langfristige Stabilität der Halbleiter. Das Monitoring und die zielgenaue Identifikation von Verunreinigungen spielen dabei eine immer größere Rolle. ...

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