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2017 | OriginalPaper | Buchkapitel

4. Nanoschichten

verfasst von : Wolfgang R. Fahrner

Erschienen in: Nanotechnologie und Nanoprozesse

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

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Zusammenfassung

Allgemein wird die physikalische Abscheidung (physical vapor deposition, PVD) aus der Gasphase in vier Gruppen unterteilt, nämlich (i) Aufdampfung, (ii) Sputtern, (iii) Ionenplattieren und (iv) Laserabtrag. Die ersten drei Verfahren erfolgen bei kleineren Drücken. Ein grober Überblick ist in Abb. 4.1 zu sehen.

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Metadaten
Titel
Nanoschichten
verfasst von
Wolfgang R. Fahrner
Copyright-Jahr
2017
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Buch
Nanotechnologie und Nanoprozesse

Print ISBN: 978-3-662-48907-9

Electronic ISBN: 978-3-662-48908-6

Copyright-Jahr: 2017

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-662-48908-6_4