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Erschienen in:
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2006 | OriginalPaper | Buchkapitel

Nanostructured Films on Silicon Surfaces

verfasst von : Per Morgen, Ali Bahari, Kjeld Pedersen

Erschienen in: Functional Properties of Nanostructured Materials

Verlag: Springer Netherlands

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This contribution addresses the formation of ultrathin films on silicon surfaces: Metallic films, oxides and nitrides, and aluminum oxide and nitride, and their properties.

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Metadaten
Titel
Nanostructured Films on Silicon Surfaces
verfasst von
Per Morgen
Ali Bahari
Kjeld Pedersen
Copyright-Jahr
2006
Verlag
Springer Netherlands
Buch
Functional Properties of Nanostructured Materials

Print ISBN: 978-1-4020-4595-0

Electronic ISBN: 978-1-4020-4594-3

Copyright-Jahr: 2006

DOI
https://doi.org/10.1007/1-4020-4594-8_16