10. Nicht-Silizium-High-Aspect-Ratio-Micro-Structures

Der Fachbeitrag untersucht die Erzeugung von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis durch verschiedene Technologien. Die LIGA-Technik, eine Kombination aus Röntgentiefenlithografie, Galvanoformung und Kunststoffabformung, ermöglicht die Herstellung von Mikrostrukturen mit extrem hohen Aspektverhältnissen und freier Designmöglichkeit. Die UV-LIGA-Technik, eine Variante der LIGA-Technik, nutzt UV-Licht und erreicht ebenfalls hohe Aspektverhältnisse. Das Heißpressen, auch als 'hot embossing' bekannt, ist eine weitere Methode zur Herstellung von Mikrostrukturen in Kunststoff. Der Beitrag beschreibt die Prinzipien und Anwendungen dieser Technologien in der Mikroaktuatoren-, Mikromechanik- und Sensortechnik, und zeigt anhand von Beispielen die Vielseitigkeit und Präzision dieser Herstellungsverfahren.