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2022 | OriginalPaper | Buchkapitel

10. Nicht-Silizium-High-Aspect-Ratio-Micro-Structures

verfasst von : Ha Duong Ngo

Erschienen in: Technologien der Mikrosysteme

Verlag: Springer Fachmedien Wiesbaden

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Zusammenfassung

Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis lassen sich nicht nur mit den Prozessen der Silizium-Mikromechanik, sondern auch durch die Lithographie-Galvanoformung-Abformung-Technik und durch Heißpressen („hot embossing“) erzeugen.

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Fußnoten
1
Wird in der Literatur häufig auch als Low-cost-LIGA bezeichnet.
 
2
Glasübergangstemperatur: Unterhalb der Glasübergangstemperatur ist ein amorphes oder teilamorphes Polymer glasartig und hart, oberhalb geht es in einen gummiartigen bis zähflüssigen Zustand über.
 
Metadaten
Titel
Nicht-Silizium-High-Aspect-Ratio-Micro-Structures
verfasst von
Ha Duong Ngo
Copyright-Jahr
2022
DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-658-37498-3_10