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Erschienen in: Semiconductors 1/1998

01.01.1998 | Atomic Structure and Non-Electronic Properties of Semiconductors (Mechanical and Thermal Properties, Diffusion, etc.)

Nonequilibrium segregation of phosphorus in the system silicon dioxide-silicon

verfasst von: O. V. Aleksandrov, N. N. Afonin

Erschienen in: Semiconductors | Ausgabe 1/1998

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Metadaten
Titel
Nonequilibrium segregation of phosphorus in the system silicon dioxide-silicon
verfasst von
O. V. Aleksandrov
N. N. Afonin
Publikationsdatum
01.01.1998
Verlag
Nauka/Interperiodica
Erschienen in
Semiconductors / Ausgabe 1/1998
Print ISSN: 1063-7826
Elektronische ISSN: 1090-6479
DOI
https://doi.org/10.1134/1.1187351

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