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2022 | OriginalPaper | Buchkapitel

7. Oberflächen-Mikromechanik

verfasst von : Ha Duong Ngo

Erschienen in: Technologien der Mikrosysteme

Verlag: Springer Fachmedien Wiesbaden

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Zusammenfassung

Bei dieser Technologie handelt es sich um einen Prozess zur Herstellung von dreidimensionalen Strukturen auf der Oberfläche einer Siliziumscheibe. Im Gegensatz zum Bulk Micromachining verwendet man hier eine bzw. mehrere übereinanderliegende Polysiliziumschichten (oder auch andere Materialien wie Metalle z. B), die vor dem Abscheiden der nächsten Schicht strukturiert werden und durch sogenannte Opferschichten („sacrificial layer, sacrificial spacer“) voneinander getrennt sind. Zuletzt werden diese Schichten sozusagen geopfert, indem sie durch nasschemisches Ätzen entfernt werden, sodass auf der Scheibenoberfläche die gewünschten dreidimensionalen Polysiliziumstrukturen zurückbleiben.

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Metadaten
Titel
Oberflächen-Mikromechanik
verfasst von
Ha Duong Ngo
Copyright-Jahr
2022
DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-658-37498-3_7