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Erschienen in: Semiconductors 8/2016

01.08.2016 | Fabrication, Treatment, and Testing of Materials and Structures

On a silicon-based photonic-crystal cavity for the near-IR region: Numerical simulation and formation technology

verfasst von: P. G. Serafimovich, M. V. Stepikhova, N. L. Kazanskiy, S. A. Gusev, A. V. Egorov, E. V. Skorokhodov, Z. F. Krasilnik

Erschienen in: Semiconductors | Ausgabe 8/2016

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Metadaten
Titel
On a silicon-based photonic-crystal cavity for the near-IR region: Numerical simulation and formation technology
verfasst von
P. G. Serafimovich
M. V. Stepikhova
N. L. Kazanskiy
S. A. Gusev
A. V. Egorov
E. V. Skorokhodov
Z. F. Krasilnik
Publikationsdatum
01.08.2016
Verlag
Pleiades Publishing
Erschienen in
Semiconductors / Ausgabe 8/2016
Print ISSN: 1063-7826
Elektronische ISSN: 1090-6479
DOI
https://doi.org/10.1134/S1063782616080212

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