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Journal of Electronic Materials

Optical, Electrical, and Crystal Properties of TiO2 Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition on Silicon and Glass Substrates

  • 22.05.2018
  • Topical Collection: Electronic Materials for Renewable Energy Applications
Erschienen in:
Verfasst von
I. Kupa
Y. Unal
S. S. Cetin
L. Durna
K. Topalli
A. K. Okyay
H. Ates
Erschienen in
Journal of Electronic Materials | Ausgabe 8/2018

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Titel
Optical, Electrical, and Crystal Properties of TiO2 Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition on Silicon and Glass Substrates
Verfasst von
I. Kupa
Y. Unal
S. S. Cetin
L. Durna
K. Topalli
A. K. Okyay
H. Ates
Publikationsdatum
22.05.2018
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Electronic Materials / Ausgabe 8/2018
Print ISSN: 0361-5235
Elektronische ISSN: 1543-186X
DOI
https://doi.org/10.1007/s11664-018-6370-y

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