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Performance analysis of cascade type three-chamber piezoelectric pump

  • 22.11.2023
  • Technical Paper
Erschienen in:

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Abstract

Der Artikel behandelt die Leistungsanalyse einer kaskadenartigen piezoelektrischen Dreikammerpumpe und adressiert die Beschränkungen traditioneller Pumpen in Mikrosystemen. Es führt ein hybrides, parallel verlaufendes Verbindungsdesign ein, das Durchfluss und Druck verbessert und die Leistung asynchroner und synchroner Fahrmodi vergleicht. Experimentelle Ergebnisse zeigen, dass das Kaskadendesign eine erhebliche Erhöhung der Durchflussrate und des Drucks erzielt, was es zu einer vielversprechenden Lösung für Anwendungen macht, die eine hohe Leistung in der integrierten Wärmeableitung der Mikroelektronik erfordern.

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Titel
Performance analysis of cascade type three-chamber piezoelectric pump
Verfasst von
Renhui Hu
Lipeng He
Dianbin Hu
Yi Hou
Guangming Cheng
Publikationsdatum
22.11.2023
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 1/2024
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-023-05574-y
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Bildnachweise
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