Skip to main content
main-content

Tipp

Weitere Artikel dieser Ausgabe durch Wischen aufrufen

06.02.2018 | Technical Paper | Ausgabe 8/2018

Microsystem Technologies 8/2018

Performance evaluation of a curved electrode actuator fabricated without gold/chromium conductive layers

Zeitschrift:
Microsystem Technologies > Ausgabe 8/2018
Autoren:
Sindhu Preetham Burugupally, Jordan A. Mangels

Abstract

Curved electrode actuators displace on the order of a biological cell diameter at low actuation voltages, making them a potential candidate for probing and micromanipulation of cells in an underwater, closed microenvironment. Here, a closed microenvironment is formed by bonding a Polydimethylsiloxane-based cap-like structure to the actuator; however, the presence of Au/Cr conductive layers on the actuator reduce the available silicon surface area of the actuator—resulting in poor adhesion. Therefore, we propose to fabricate the actuators without these conductive layers. In this paper, we demonstrate the absence of these layers has a minimal effect on the actuator’s peak-to-peak displacement and force. The actuator achieves the following performance metrics: large displacement (1–10 μm) and force (1–21.5 μN) range; broad frequency range (1–500 Hz); and low actuation voltages (0–8 V) in viscous media that are necessary for cell probing and micromanipulation applications.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu diesem Inhalt zu erhalten

Sie möchten Zugang zu diesem Inhalt erhalten? Dann informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 69.000 Bücher
  • über 500 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 50.000 Bücher
  • über 380 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Maschinenbau + Werkstoffe




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Literatur
Über diesen Artikel

Weitere Artikel der Ausgabe 8/2018

Microsystem Technologies 8/2018 Zur Ausgabe