Skip to main content
main-content

Tipp

Weitere Artikel dieser Ausgabe durch Wischen aufrufen

01.09.2018 | ORIGINAL PAPER | Ausgabe 9/2018

Journal of Polymer Research 9/2018

Photo-sensitive bio-based copolymer containing cholic acids: novel functional materials for 248nm photoresist

Zeitschrift:
Journal of Polymer Research > Ausgabe 9/2018
Autoren:
Changwei Ji, Jingcheng Liu, Xiangfei Zheng, Ren Liu, Yan Yuan, Xiaoya Liu, Qidao Mu
Wichtige Hinweise

Electronic supplementary material

The online version of this article (https://​doi.​org/​10.​1007/​s10965-018-1584-5) contains supplementary material, which is available to authorized users.

Associated content

The details about measurement date were shown in the Supporting Information.

Abstract

Cholic acid is a class of biological compounds that exhibit valuable properties, and have been applied in many fields due to its special chemical structures for many areas. In this study, poly[(methacrylic acid tert-butyl cholate ester)-co-(acetoxy styrene)] [P(MATC-co-AS)] was synthesized from cholic acid, then the final copolymer poly[(methacrylic acid tert-butyl cholate ester)-co-(p-hydrostyrene)] [P(MATC-co-HS)] was obtained after P(MATC-co-AS) was hydrolysized. The structure and properties of the copolymers were determined through nuclear magnetic resonance, gel permeation chromatography, UV spectrometry, thermogravimetric analysis, and differential scanning calorimetry. The ultraviolet spectra of the copolymers indicate that they exhibit excellent optical transmittance at 248 nm. Moreover, the photolithography performance of a positive-tone photoresist based on the copolymers were evaluated using an KrF laser exposure system. The results indicate that a resolution of 0.25 μm could be achieved at a low exposure dose.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu diesem Inhalt zu erhalten

Sie möchten Zugang zu diesem Inhalt erhalten? Dann informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 69.000 Bücher
  • über 500 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 50.000 Bücher
  • über 380 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Maschinenbau + Werkstoffe




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Zusatzmaterial
Nur für berechtigte Nutzer zugänglich
Literatur
Über diesen Artikel

Weitere Artikel der Ausgabe 9/2018

Journal of Polymer Research 9/2018 Zur Ausgabe

Premium Partner

    Marktübersichten

    Die im Laufe eines Jahres in der „adhäsion“ veröffentlichten Marktübersichten helfen Anwendern verschiedenster Branchen, sich einen gezielten Überblick über Lieferantenangebote zu verschaffen. 

    Bildnachweise