Piezoelektrische MEMS-Sensoren zur Viskositäts- und Dichtebestimmung von technischen Flüssigkeiten

Die Überwachung der Alterung von Schmierölen in Automobilen liefert einen wesentlichen Beitrag dazu, die Lebenszeit von Antriebsaggregaten und Motoren zu erhöhen und gleichzeitig die Anzahl an notwendigen Ölwechseln nach Bedarf durchzuführen und damit auf ein Minimum zu reduzieren. Dies kann durch eine kontinuierliche Überwachung von physikalischen Flüssigkeitskenngrößen wie Viskosität und Dichte erreicht werden. Piezoelektrisch angetriebene resonante Mikrosysteme eignen sich hierfür besonders, da die Bauelemente kompakt ausgeführt, elektrisch angetrieben und ausgelesen werden können und nur einen geringen Energieverbrauch aufweisen, weil aus den Schwingungseigenschaften direkt auf die Flüssigkeitsparameter zurückgeschlossen werden kann.