Skip to main content
main-content

Tipp

Weitere Artikel dieser Ausgabe durch Wischen aufrufen

01.01.2015 | Technical Paper | Ausgabe 1/2015

Microsystem Technologies 1/2015

Polymer micromachining technologies for a table-shaped tactile sensor using thick sacrificial layer

Zeitschrift:
Microsystem Technologies > Ausgabe 1/2015
Autoren:
Jeong Il Lee, Mitsuhiro Shikida, Kazuo Sato

Abstract

This paper describes fabrication of a slim and flexible tactile sensor which has a three-dimensional table-shaped sensing part to equip intelligent robot’s finger tips. To fabricate a three-dimensional structure of full polymer-based sensor, we propose a new fabrication method in polymer micromachining technologies such as thermo-compatible layer-by-layer process and thick sacrificial layer without wet or dry etching process. Three-dimensional structure patterning of up to 60-μm thickness was achieved by using a photo-definable lithography process with a photoresist material as a thick sacrificial layer. All processes were designed considering process-compatibility and a low process temperature of below 110 °C. These strategies were possible to make low-cost sensor with robust structure through the simplification of conventional micromachining process steps for economical fabrication.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu diesem Inhalt zu erhalten

Sie möchten Zugang zu diesem Inhalt erhalten? Dann informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 69.000 Bücher
  • über 500 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 50.000 Bücher
  • über 380 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Maschinenbau + Werkstoffe




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Literatur
Über diesen Artikel

Weitere Artikel der Ausgabe 1/2015

Microsystem Technologies 1/2015 Zur Ausgabe