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Nano Research
Erschienen in: Nano Research 1/2019

15.09.2018 | Research Article

Precise control of graphene etching by remote hydrogen plasma

verfasst von: Bangjun Ma, Shizhao Ren, Peiqi Wang, Chuancheng Jia, Xuefeng Guo

Erschienen in: Nano Research | Ausgabe 1/2019

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Metadaten
Titel
Precise control of graphene etching by remote hydrogen plasma
verfasst von
Bangjun Ma
Shizhao Ren
Peiqi Wang
Chuancheng Jia
Xuefeng Guo
Publikationsdatum
15.09.2018
Verlag
Tsinghua University Press
Erschienen in
Nano Research / Ausgabe 1/2019
Print ISSN: 1998-0124
Elektronische ISSN: 1998-0000
DOI
https://doi.org/10.1007/s12274-018-2192-8

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