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Technical Physics
Erschienen in: Technical Physics 11/2017

01.11.2017 | Physical Electronics

Properties of amorphous carbon thin films grown by ion beam sputtering

verfasst von: Yu. E. Kalinin, M. A. Kashirin, V. A. Makagonov, S. Yu. Pankov, A. V. Sitnikov

Erschienen in: Technical Physics | Ausgabe 11/2017

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Metadaten
Titel
Properties of amorphous carbon thin films grown by ion beam sputtering
verfasst von
Yu. E. Kalinin
M. A. Kashirin
V. A. Makagonov
S. Yu. Pankov
A. V. Sitnikov
Publikationsdatum
01.11.2017
Verlag
Pleiades Publishing
Erschienen in
Technical Physics / Ausgabe 11/2017
Print ISSN: 1063-7842
Elektronische ISSN: 1090-6525
DOI
https://doi.org/10.1134/S1063784217110123

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