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Erschienen in: Semiconductors 2/2013

01.02.2013 | Semiconductor Structures, Low-Dimensional Systems, and Quantum Phenomena

Recrystallization of silicon-on-sapphire structures at various amorphization-ion-beam energies

verfasst von: P. A. Alexandrov, K. D. Demakov, S. G. Shemardov, Yu. Yu. Kuznetsov

Erschienen in: Semiconductors | Ausgabe 2/2013

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Metadaten
Titel
Recrystallization of silicon-on-sapphire structures at various amorphization-ion-beam energies
verfasst von
P. A. Alexandrov
K. D. Demakov
S. G. Shemardov
Yu. Yu. Kuznetsov
Publikationsdatum
01.02.2013
Verlag
SP MAIK Nauka/Interperiodica
Erschienen in
Semiconductors / Ausgabe 2/2013
Print ISSN: 1063-7826
Elektronische ISSN: 1090-6479
DOI
https://doi.org/10.1134/S1063782613020036

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