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Erschienen in:
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2020 | OriginalPaper | Buchkapitel

Refractive Index and Dielectric Constant Evaluation of RF Sputtered Few Layer MoS2 Thin Film

verfasst von : Richa Singh, Shweta Tripathi

Erschienen in: Advances in VLSI, Communication, and Signal Processing

Verlag: Springer Singapore

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Abstract

In this paper thin film of MoS2 has been deposited on pSi substrate at different time by RF sputtering method, X-ray diffraction pattern shows crystalline growth. Different optical parameters like refractive index, extinction coefficient and dielectric constant have been analyzed. It has been observed that the estimated optical parameters show the thickness depended behavior. Surface analysis has been done using FESEM that agrees with obtained optical parameters. All the optical parameters have been calculated using VASE Ellipsometer.

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Literatur
1.
Benavente, E., Santa Ana, M.A., Mendizabal, F., Gonzalez, G.: Intercalation chemistry of molybdenum disulfide. Coord. Chem. Rev. 224, 87–109 (2002)CrossRef
2.
Lee, C., Yan, H., Brus, L.E., Heinz, T.F., Hone, J., Ryu, S.: Anomalous lattice vibrations of single-and few-layer MoS2. ACS Nano 4(5), 2695–2700 (2010)CrossRef
3.
Song, I., Park, C., Choi, H.C.: Synthesis and properties of molybdenum disulphide: from bulk to atomic layers. RSC Adv. 5(10), 7495–7514 (2015)CrossRef
4.
Li, Y., Wang, H., Xie, L., Liang, Y., Hong, G., Dai, H.: MoS2 nanoparticles grown on graphene: an advanced catalyst for the hydrogen evolution reaction. J. Am. Chem. Soc. 133(19), 7296–7299 (2011)CrossRef
5.
Li, X., Zhu, H.: Two-dimensional MoS2: properties, preparation, and applications. J. Materiomics 1(1), 33–44 (2015)CrossRef
6.
Kim, H.S., Kumar, M.D., Kim, J., Lim, D.: Vertical growth of MoS2 layers by sputtering method for efficient photoelectric application. Sens. Actuators A 269, 355–362 (2018)CrossRef
7.
Bruzzese, D.G.: Use of spectroscopic ellipsometry and modeling in determining composition and thickness of barium strontium titanate thin films (2010)
8.
Yim, C., O’Brien, M., McEvoy, N., Winters, S., Mirza, I., Lunney, J.G., Duesberg, G.S.: Investigation of the optical properties of MoS2 thin films using spectroscopic ellipsometry. Appl. Phys. Lett. 104(10), 103114 (2014)CrossRef
9.
Funke, S., Miller, B., Parzinger, E., Thiesen, P., Holleitner, A.W., Wurstbauer, U.: Imaging spectroscopic ellipsometry of MoS2. J. Phys. Condens. Matter 28(38), 385301 (2016)CrossRef
10.
Di Giulio, M., Micocci, G., Rella, R., Siciliano, P., Tepore, A.: Optical absorption of tellurium suboxide thin films. Phys. Status Solidi (a) 136, K101 (1993)CrossRef
11.
Xu, J., He, T., Chai, L., Qiao, L., Wang, P., Liu, W.: Growth and characteristics of self-assembled MoS 2/Mo-SC nanoperiod multilayers for enhanced tribological performance. Sci. Rep. 6, 25378 (2016)CrossRef
12.
Kang, H.S., Ahn, B.D., Kim, J.H., Kim, G.H., Lim, S.H., Chang, H.W., Lee, S.Y.: Structural, electrical, and optical properties of p-type ZnO thin films with Ag dopant. Appl. Phys. Lett. 88(20), 202108 (2006)CrossRef
13.
Kaindl, R., Bayer, B. C., Resel, R., Müller, T., Skakalova, V., Habler, G., Abart, R., Cherevan, A.S., Eder, D., Blatter, M., Fischer, F.: Growth, structure and stability of sputter-deposited MoS2 thin films. Beilstein J. Nanotechnol. 8, 1115 (2017)CrossRef
Metadaten
Titel
Refractive Index and Dielectric Constant Evaluation of RF Sputtered Few Layer MoS2 Thin Film
verfasst von
Richa Singh
Shweta Tripathi
Copyright-Jahr
2020
Verlag
Springer Singapore
Buch
Advances in VLSI, Communication, and Signal Processing

Print ISBN: 978-981-329-774-6

Electronic ISBN: 978-981-329-775-3

Copyright-Jahr: 2020

DOI
https://doi.org/10.1007/978-981-32-9775-3_59

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