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2018 | OriginalPaper | Buchkapitel

6. Reinraumanlagen für Mikroelektronik und Pharma

verfasst von : Manfred Renz

Erschienen in: Reinraumtechnik

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

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Zusammenfassung

Zu den reinraumtechnischen Anlagen zählen insbesondere alle Systeme zur Luftaufbereitung und -förderung, wie
• Außenluftsysteme,
• Umluftsysteme,
• Fortluftsysteme.

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Fußnoten
1
Wertvolle Anregungen und Unterstützung bei der Gestaltung dieses Abschnitts durch M. Aust, M+W Central Europe GmbH Stuttgart
 
Literatur
[1]
Renz, M., Honold, A.: Saving energy with advanced cleanroom air recirculation system. Semiconductor Fabtech, 2. Aufl., S. 89–93. ICG Publishing, London (1995)
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Csatary, P., Kümmerle, K.: 300 mm Fab Conversions & the Chemisperical Challenge–A Model Case Study; Fabtech 17. ICG Publishing, London (2002)
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Gräber, H., Tegtmeyer, G.: Siemens’ NTS Facility: A World First; Future Fab International, 3. Aufl., S. 107–114. Technology Publishing, London (1997)
[9]
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[10]
Renz, M., et al.: Advances in cleanroom air management systems. European Contamination Control Conference. München (1999)
[11]
[12]
Metadaten
Titel
Reinraumanlagen für Mikroelektronik und Pharma
verfasst von
Manfred Renz
Copyright-Jahr
2018
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Buch
Reinraumtechnik

Print ISBN: 978-3-662-54914-8

Electronic ISBN: 978-3-662-54915-5

Copyright-Jahr: 2018

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-662-54915-5_6

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