4. Reinraumtechnik

Der Fachtext behandelt die zentrale Bedeutung von Reinräumen in der Herstellung von Mikrobauelementen. Es werden die Anforderungen an die Reinraumumgebung, einschließlich der Luftreinheit und der Reinraumklassen nach ISO 14644-1 und FS 209E, detailliert erläutert. Hauptkontaminationsquellen wie Personal, Prozessanlagen und -medien werden identifiziert und Maßnahmen zur Reduktion von Partikeln beschrieben. Besondere Aufmerksamkeit wird der Luftaufbereitung und den verschiedenen Reinraumkonzepten, wie turbulenter Mischlüftung und turbulenzarmer Verdrängungsströmung, geschenkt. Zudem wird die SMIF-Minienvironment-Technologie als innovative Lösung zur Aufrechterhaltung der Reinheitsklasse vorgestellt. Der Text bietet einen umfassenden Überblick über die notwendigen Maßnahmen und Technologien zur Sicherstellung einer hochreinen Umgebung in der Mikrosystemtechnik.