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2022 | OriginalPaper | Buchkapitel

4. Reinraumtechnik

verfasst von : Ha Duong Ngo

Erschienen in: Technologien der Mikrosysteme

Verlag: Springer Fachmedien Wiesbaden

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Zusammenfassung

Die Herstellung von Mikrobauelementen mit hoher Ausbeute ist nur in einem hochreinen Umfeld (Reinraum) möglich. Die zentrale Aufgabe eines Reinraums ist deshalb das Bereitstellen einer weitgehend partikelfreien Umgebungsluft. Die Anforderungen an einen Reinraum beschränken sich aber nicht allein auf die Luft, sie verlangen auch reine Prozesse, Anlagen und Medien (Prozessgase, DI-Wasser, Chemikalien) sowie geeignet ausgebildetes Reinraumpersonal.

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Metadaten
Titel
Reinraumtechnik
verfasst von
Ha Duong Ngo
Copyright-Jahr
2022
DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-658-37498-3_4