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01.04.2012 | Technical Paper | Ausgabe 4/2012

Microsystem Technologies 4/2012

Replication of precise polymeric microlens arrays combining ultra-precision diamond ball-end milling and micro injection molding

Zeitschrift:
Microsystem Technologies > Ausgabe 4/2012
Autoren:
S. Kirchberg, L. Chen, L. Xie, G. Ziegmann, B. Jiang, K. Rickens, O. Riemer

Abstract

A simple and novel combination of ultra-precision diamond ball-end milling and micro injection molding technique is described to produce precise microlens arrays out of polycarbonate (PC), polymethylmethacrylate (PMMA) as well as polystyrene (PS). The microlens arrays consist of 100 lenses in a 10 × 10 array with a lens radius of 273 μm, a lens diameter of 300 μm and a lens depth of 45 μm. Pitch between the lenses is fixed at 800 μm. The injection molding parameters were optimized to get precise microlens geometries with low surface roughness. The results show a precise diamond milled mold insert and injection molded microlens arrays with minor deviations in radius and surface roughness of the microlenses, particularly for microlens arrays out of PMMA.

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