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Journal of Electronic Materials
Erschienen in: Journal of Electronic Materials 9/2020

23.07.2020 | Topical Collection: 18th Conference on Defects (DRIP XVIII)

Residual Deformations and Mechanical Stresses in Macroporous and Nonporous Silicon Under Normal Etching Conditions

verfasst von: K. P. Konin, O. Yo. Gudymenko, V. P. Klad’ko, O. O. Lytvynenko, D. V. Morozovs’ka

Erschienen in: Journal of Electronic Materials | Ausgabe 9/2020

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Metadaten
Titel
Residual Deformations and Mechanical Stresses in Macroporous and Nonporous Silicon Under Normal Etching Conditions
verfasst von
K. P. Konin
O. Yo. Gudymenko
V. P. Klad’ko
O. O. Lytvynenko
D. V. Morozovs’ka
Publikationsdatum
23.07.2020
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Electronic Materials / Ausgabe 9/2020
Print ISSN: 0361-5235
Elektronische ISSN: 1543-186X
DOI
https://doi.org/10.1007/s11664-020-08319-z

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