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Technical Physics
Erschienen in: Technical Physics 7/2013

01.07.2013 | Physical Science of Materials

Role of argon in its mixture with nitrogen in deposition of nitride condensates in the Ti-Si-N system and in vacuum arc deposition processes

verfasst von: V. A. Belous, Yu. A. Zadneprovskii, N. S. Lomino, O. V. Sobol’

Erschienen in: Technical Physics | Ausgabe 7/2013

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Metadaten
Titel
Role of argon in its mixture with nitrogen in deposition of nitride condensates in the Ti-Si-N system and in vacuum arc deposition processes
verfasst von
V. A. Belous
Yu. A. Zadneprovskii
N. S. Lomino
O. V. Sobol’
Publikationsdatum
01.07.2013
Verlag
Springer US
Erschienen in
Technical Physics / Ausgabe 7/2013
Print ISSN: 1063-7842
Elektronische ISSN: 1090-6525
DOI
https://doi.org/10.1134/S1063784213070025

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