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2018 | OriginalPaper | Buchkapitel

91. Scanning Electron Microscopy

verfasst von : Yasuyuki Okano

Erschienen in: Compendium of Surface and Interface Analysis

Verlag: Springer Singapore

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Abstract

Scanning electron microscope (SEM) is an instrument that can image and analyze specimens using a focused electron beam. When the focused electron beam irradiates a specimen, various signals are generated in consequence of the interaction of the incident electron with atoms in the specimen (Fig. 91.1) (Reimer in Scanning electron microscopy: physics of image formation and microanalysis. Springer Verlag, 1998 [1]). Among the signals generated from the surface of the specimen, secondary electrons (SEs) and backscattered electrons (BSEs) can be detected for observation of shape and composition (material contrast).

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Literatur
1.
Zurück zum Zitat Reimer, L.: Scanning Electron Microscopy: Physics of Image Formation and Microanalysis. Springer Verlag (1998) Reimer, L.: Scanning Electron Microscopy: Physics of Image Formation and Microanalysis. Springer Verlag (1998)
2.
Zurück zum Zitat Fransen, M., Vanrooy, L., Tiemeijer, P., Overwijk, M., Faber, J., Kruit, P.: On the electron-optical properties of the ZrO/W schottky electron emitter. Adv Imaging Electron Phy. 111, 91–127 (1999)CrossRef Fransen, M., Vanrooy, L., Tiemeijer, P., Overwijk, M., Faber, J., Kruit, P.: On the electron-optical properties of the ZrO/W schottky electron emitter. Adv Imaging Electron Phy. 111, 91–127 (1999)CrossRef
3.
Zurück zum Zitat Pease, R.: Low-voltage scanning electron microscopy. 176–187 (1967) Pease, R.: Low-voltage scanning electron microscopy. 176–187 (1967)
4.
Zurück zum Zitat Terasaki, O., Cho, H., Cho, M., Jeong, H., Asahina, S., Sakuda, Y., Suga, M., Kazumori, H., Kudo, M., Nokuo, T., Liu, Z., Stevens, S., Anderson, M., GaleanoNunez, D., Schuth, F., Kjellman, T., Alfredsson, V., Han, L., Che, S., Deng, H., Yaghi, O., Cho, K., Ryoo, R.: Novel structural characterisations of insulating and electron beam sensitive materials employing low voltage high resolution scanning electron microscopy. JEOL News 48, 21–31 (2013) Terasaki, O., Cho, H., Cho, M., Jeong, H., Asahina, S., Sakuda, Y., Suga, M., Kazumori, H., Kudo, M., Nokuo, T., Liu, Z., Stevens, S., Anderson, M., GaleanoNunez, D., Schuth, F., Kjellman, T., Alfredsson, V., Han, L., Che, S., Deng, H., Yaghi, O., Cho, K., Ryoo, R.: Novel structural characterisations of insulating and electron beam sensitive materials employing low voltage high resolution scanning electron microscopy. JEOL News 48, 21–31 (2013)
5.
Zurück zum Zitat Suga, M., Asahina, S., Sakuda, Y., Kazumori, H., Nishiyama, H., Nokuo, T., Alfredsson, V., Kjellman, T., Stevens, S., Cho, H., Cho, M., Han, L., Che, S., Anderson, M., Schuth, F., Deng, H., Yaghi, O., Liu, Z., Jeong, H., Stein, A., Sakamoto, K., Ryoo, R., Terasaki, O.: Recent progress in scanning electron microscopy for the characterization of fine structural details of nano materials. Prog. Solid State Chem. 42, 1–21 (2014)CrossRef Suga, M., Asahina, S., Sakuda, Y., Kazumori, H., Nishiyama, H., Nokuo, T., Alfredsson, V., Kjellman, T., Stevens, S., Cho, H., Cho, M., Han, L., Che, S., Anderson, M., Schuth, F., Deng, H., Yaghi, O., Liu, Z., Jeong, H., Stein, A., Sakamoto, K., Ryoo, R., Terasaki, O.: Recent progress in scanning electron microscopy for the characterization of fine structural details of nano materials. Prog. Solid State Chem. 42, 1–21 (2014)CrossRef
Metadaten
Titel
Scanning Electron Microscopy
verfasst von
Yasuyuki Okano
Copyright-Jahr
2018
Verlag
Springer Singapore
DOI
https://doi.org/10.1007/978-981-10-6156-1_91

    Marktübersichten

    Die im Laufe eines Jahres in der „adhäsion“ veröffentlichten Marktübersichten helfen Anwendern verschiedenster Branchen, sich einen gezielten Überblick über Lieferantenangebote zu verschaffen.