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2023 | OriginalPaper | Buchkapitel

8. Sensoren

verfasst von : Peter Baumann

Erschienen in: Parameterextraktion bei Halbleiterbauelementen

Verlag: Springer Fachmedien Wiesbaden

Zusammenfassung

Das abschließende Kapitel befasst sich mit der Parameterextraktion von Temperatur-, Feuchte-, Licht- und Folien-Kraftsensoren. Außerdem werden Sensoren betrachtet, bei denen die Elemente von Schwingkreisen zu erfassen sind. Dazu zählen piezoelektrische Summer und Ultraschallsensoren. Ausgehend von Datenblattangaben werden diejenigen Modellparameter berechnet, die für eine Simulation mit dem Programm PSPICE erforderlich sind.

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Literatur
1.
Zurück zum Zitat Siemens Matsushita: Datenblatt der NTC-Sensoren M87/5 und M87/10 Siemens Matsushita: Datenblatt der NTC-Sensoren M87/5 und M87/10
2.
Zurück zum Zitat Infineon: Datenblatt des PTC-Sensors KTY11–5 Infineon: Datenblatt des PTC-Sensors KTY11–5
3.
Zurück zum Zitat B + B Thermotechnik. Datenblätter der Feuchtesensoren EFS-10, KFS33-LC und KFS140-D, Donaueschingen (2013) B + B Thermotechnik. Datenblätter der Feuchtesensoren EFS-10, KFS33-LC und KFS140-D, Donaueschingen (2013)
4.
Zurück zum Zitat Perkin Elmer Optoelectronics: Datenblatt des FotowiderstandesT9060/22, HAMAMATSU: Datenblatt des RGB-Farbsensors S9032/02 Perkin Elmer Optoelectronics: Datenblatt des FotowiderstandesT9060/22, HAMAMATSU: Datenblatt des RGB-Farbsensors S9032/02
5.
Zurück zum Zitat Hamamatsu: Datenblatt des RGB-Farbsensors S9032/02 Hamamatsu: Datenblatt des RGB-Farbsensors S9032/02
6.
Zurück zum Zitat Böhmer, E., Ehardt, D., Oberschelp, W.: Elemente der angewandten Elektronik. Vieweg + Teubner, Wiesbaden (2010) Böhmer, E., Ehardt, D., Oberschelp, W.: Elemente der angewandten Elektronik. Vieweg + Teubner, Wiesbaden (2010)
7.
Zurück zum Zitat Interlink Electronics: Datenblatt des Kraftsensors FSR-400, Ausgabe 9 (2000) Interlink Electronics: Datenblatt des Kraftsensors FSR-400, Ausgabe 9 (2000)
8.
Zurück zum Zitat EKULIT: Datenblätter der piezoelektrischen Schallwandler EPZ-27MS44 und EPZ-27MS44F, Ostfildern/Nellingen (2014) EKULIT: Datenblätter der piezoelektrischen Schallwandler EPZ-27MS44 und EPZ-27MS44F, Ostfildern/Nellingen (2014)
9.
Zurück zum Zitat Pro-Wave Electronics Corp.: Datenblatt der Ultraschallwandler-Wandler 250ST/R160 Pro-Wave Electronics Corp.: Datenblatt der Ultraschallwandler-Wandler 250ST/R160
10.
Zurück zum Zitat Pro-Wave Electronics Corp.: Application Note- APO50830 (2015) Pro-Wave Electronics Corp.: Application Note- APO50830 (2015)
11.
Zurück zum Zitat Koch, J.: Piezoxide- Wandler, Herausgeber: Valvo GmbH, Hamburg, Ausgabe März 1973 Koch, J.: Piezoxide- Wandler, Herausgeber: Valvo GmbH, Hamburg, Ausgabe März 1973
12.
Zurück zum Zitat FIGARO USA, INC.: Datenblatt des Gassensors TGS 813, REV: 09/02, Arlington Heights, IL 60005 FIGARO USA, INC.: Datenblatt des Gassensors TGS 813, REV: 09/02, Arlington Heights, IL 60005
13.
Zurück zum Zitat Baumann, P.: Ausgewählte Sensorschaltungen, 4. Auflage, Springer Vieweg (2022) Baumann, P.: Ausgewählte Sensorschaltungen, 4. Auflage, Springer Vieweg (2022)
14.
Zurück zum Zitat NEMOTO: Sensor NAP 55A/NAP50A-manual, issue 6, May (2019) NEMOTO: Sensor NAP 55A/NAP50A-manual, issue 6, May (2019)
15.
Zurück zum Zitat SGX SENORTECH: Datenblatt des Wärmeleitungs-Gassensors VQ31 SGX SENORTECH: Datenblatt des Wärmeleitungs-Gassensors VQ31
16.
Zurück zum Zitat Schrüfer, E.: Elektrische Messtechnik, Cal Hanser Verlag München (2001) Schrüfer, E.: Elektrische Messtechnik, Cal Hanser Verlag München (2001)
17.
Zurück zum Zitat Elbel, T.: Mikrosensorik. Vieweg. Wiesbaden (1996) Elbel, T.: Mikrosensorik. Vieweg. Wiesbaden (1996)
18.
Zurück zum Zitat Schmidt, W.-D.: Sensorschaltungstechnik. Vogel. Würzburg (1997) Schmidt, W.-D.: Sensorschaltungstechnik. Vogel. Würzburg (1997)
19.
Zurück zum Zitat Schiessle, E.: Industriesensorik. Vogel. Würzburg (2010) Schiessle, E.: Industriesensorik. Vogel. Würzburg (2010)
20.
Zurück zum Zitat Bergfeld, Ir. P.: ISFET, Theory and Practice. IEEE Sensor Conference, Toronto (2003) Bergfeld, Ir. P.: ISFET, Theory and Practice. IEEE Sensor Conference, Toronto (2003)
21.
Zurück zum Zitat Lopez-Huerta, F. et al.: An Integrated ISFET pH Microsensor on a CMOS Standard Process, Journal of Sensor Technology, 3, 57–62, (2013) Lopez-Huerta, F. et al.: An Integrated ISFET pH Microsensor on a CMOS Standard Process, Journal of Sensor Technology, 3, 57–62, (2013)
22.
Zurück zum Zitat Franco, S.: Design with Operational Amplifiers and Analog Integrated Circuits, McGraw-Hill Book Company, New York (1988) Franco, S.: Design with Operational Amplifiers and Analog Integrated Circuits, McGraw-Hill Book Company, New York (1988)
23.
Zurück zum Zitat University of Edinburgh: Biosensors and Instrumentation, Tutorial 3 Solutions University of Edinburgh: Biosensors and Instrumentation, Tutorial 3 Solutions
24.
Zurück zum Zitat Microsens SA: Datenblatt von MSFET-3330 pH sensor, Lausanne, May (2017) Microsens SA: Datenblatt von MSFET-3330 pH sensor, Lausanne, May (2017)
25.
Zurück zum Zitat Jarmin, R. et al.: ISFET Characterization using Constant Voltage Constant Current Readout Circuit, International Journal of Circuits, Systems and Signal Processing, ISSN:1998–4464, Volume 9 (2015) Jarmin, R. et al.: ISFET Characterization using Constant Voltage Constant Current Readout Circuit, International Journal of Circuits, Systems and Signal Processing, ISSN:1998–4464, Volume 9 (2015)
Metadaten
Titel
Sensoren
verfasst von
Peter Baumann
Copyright-Jahr
2023
DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-658-40957-9_8