2018 | OriginalPaper | Buchkapitel
9. Silicon Micro-/Nanomachining and Applications
verfasst von: Hoang-Phuong Phan, Dzung Viet Dao, Nam-Trung Nguyen
Erschienen in: Micro and Nanomanufacturing Volume II
2018 | OriginalPaper | Buchkapitel
verfasst von: Hoang-Phuong Phan, Dzung Viet Dao, Nam-Trung Nguyen
Erschienen in: Micro and Nanomanufacturing Volume II