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Erschienen in:
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2017 | OriginalPaper | Buchkapitel

HIM - Helium-Ionen-Mikroskopie

verfasst von : Jürgen Bauch, Rüdiger Rosenkranz

Erschienen in: Physikalische Werkstoffdiagnostik

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

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Ein Helium-Ionen-Mikroskop gleicht in vielen Merkmalen einem Rasterelektronenmikroskop, wobei die Probe aber nicht mit Elektronen, sondern mit Heliumionen beschossen wird. Eine Ionenoptik sorgt für eine extrem starke Bündelung des Teilchenstrahls und mittels einer Ablenkeinheit wird der Strahl analog zum REM über die Probe gerastert. Dort erzeugen die auftreffenden Teilchen eine große Zahl von Sekundärelektronen, welche zur Bilddarstellung genutzt werden. Die erzielbaren Auflösungen sind besser als die im REM, weil der Ionenstrahl in der Probe nicht so stark aufgeweitet wird.

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Metadaten
Titel
HIM - Helium-Ionen-Mikroskopie
verfasst von
Jürgen Bauch
Rüdiger Rosenkranz
Copyright-Jahr
2017
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Buch
Physikalische Werkstoffdiagnostik

Print ISBN: 978-3-662-53951-4

Electronic ISBN: 978-3-662-53952-1

Copyright-Jahr: 2017

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-662-53952-1_6

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