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Erschienen in:
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2009 | OriginalPaper | Buchkapitel

Microsystems technology

verfasst von : Lars Heinze, Bernhard Wybranski, Lutz-Günter John, Gabi Fernholz

Erschienen in: Technology Guide

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

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Microsystems technology (MST) encompasses technical systems consisting of functional components between 1–100 μm in size. The spectrum of functional elements integrated into microsystems ranges from electronic to mechanical, as well as optical and fluid components.

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Metadaten
Titel
Microsystems technology
verfasst von
Lars Heinze
Bernhard Wybranski
Lutz-Günter John
Gabi Fernholz
Copyright-Jahr
2009
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Buch
Technology Guide

Print ISBN: 978-3-540-88545-0

Electronic ISBN: 978-3-540-88546-7

Copyright-Jahr: 2009

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-540-88546-7_15

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