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2018 | OriginalPaper | Buchkapitel

State of the art

verfasst von : Alexey Ivanov

Erschienen in: Silicon Anodization as a Structuring Technique

Verlag: Springer Fachmedien Wiesbaden

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Electrochemical etching of silicon in fluoride containing electrolytes, also named as anodization process, is a fascinating process which provides material for research for more than half a century. The first report on anodization of silicon (and germanium) was published by Uhlir [78]. Further investigations of silicon anodization were performed ten years later by Memming and Schwandt [79].

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Metadaten
Titel
State of the art
verfasst von
Alexey Ivanov
Copyright-Jahr
2018
Buch
Silicon Anodization as a Structuring Technique

Print ISBN: 978-3-658-19237-2

Electronic ISBN: 978-3-658-19238-9

Copyright-Jahr: 2018

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-658-19238-9_2

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