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Erschienen in: The International Journal of Advanced Manufacturing Technology 5-8/2017

13.12.2016 | ORIGINAL ARTICLE

Study on the potential of chemo-mechanical-grinding (CMG) process of sapphire wafer

verfasst von: Ke Wu, Libo Zhou, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Julong Yuan

Erschienen in: The International Journal of Advanced Manufacturing Technology | Ausgabe 5-8/2017

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Metadaten
Titel
Study on the potential of chemo-mechanical-grinding (CMG) process of sapphire wafer
verfasst von
Ke Wu
Libo Zhou
Jun Shimizu
Teppei Onuki
Takeyuki Yamamoto
Hirotaka Ojima
Julong Yuan
Publikationsdatum
13.12.2016
Verlag
Springer London
Erschienen in
The International Journal of Advanced Manufacturing Technology / Ausgabe 5-8/2017
Print ISSN: 0268-3768
Elektronische ISSN: 1433-3015
DOI
https://doi.org/10.1007/s00170-016-9836-1

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