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01.08.2009 | Technical Paper | Ausgabe 8/2009

Microsystem Technologies 8/2009

Sub-μm structured lotus surfaces manufacturing

Zeitschrift:
Microsystem Technologies > Ausgabe 8/2009
Autoren:
Matthias Worgull, M. Heckele, T. Mappes, B. Matthis, G. Tosello, T. Metz, J. Gavillet, P. Koltay, H. N. Hansen

Abstract

Sub-μm structured surfaces allow modifying the behavior of polymer films or components. Especially in micro-fluidics a lotus-like characteristic is requested for many applications. Structure details with a high aspect ratio are necessary to decouple the bottom and the top of the functional layer. Unlike to stochastic methods, patterning with a LIGA-mold insert it is possible to structure surfaces very uniformly or even with controlled variations (e.g., with gradients). In this paper we present the process chain to realize polymer sub-μm structures with minimum lateral feature size of 400 nm and up to 4 μm high.

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