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The International Journal of Advanced Manufacturing Technology

Erschienen in:

Open Access 01.11.2015 | ORIGINAL ARTICLE

Surface and subsurface characterisation in micro-milling of monocrystalline silicon

verfasst von: Dehong Huo, Chao Lin, Zi Jie Choong, Ketan Pancholi, Patrick Degenaar

Erschienen in: The International Journal of Advanced Manufacturing Technology | Ausgabe 5-8/2015

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Titel: Surface and subsurface characterisation in micro-milling of monocrystalline silicon
verfasst von: Dehong Huo
Chao Lin
Zi Jie Choong
Ketan Pancholi
Patrick Degenaar
Publikationsdatum: 01.11.2015
Verlag: Springer London
Erschienen in: The International Journal of Advanced Manufacturing Technology / Ausgabe 5-8/2015
Print ISSN: 0268-3768
Elektronische ISSN: 1433-3015
DOI: https://doi.org/10.1007/s00170-015-7308-7

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