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08.09.2017 | COATINGS | Ausgabe 5-6/2017

Glass and Ceramics 5-6/2017

Surface Protection of Low-Melting Glass Based Silicon Substrates for Silicon Transistor Fabrication

Zeitschrift:
Glass and Ceramics > Ausgabe 5-6/2017
Autoren:
T. A. Ismailov, T. É. Sarkarov, B. A. Shangereeva, A. R. Shakhmaeva
Wichtige Hinweise
Translated from Steklo i Keramika, No. 5, pp. 25 – 28, May, 2017.
Different methods are proposed for protecting the surfaces of silicon substrates in the fabrication of silicon transistors. The results of thermal operations with technological regimes for obtaining a low-melting glassy layer in order to protect the surface of p – n junction substrates from different external actions are presented.

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