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2014 | OriginalPaper | Buchkapitel

Synthesis of Multilayer Graphene by Filtered Cathodic Vacuum Arc Technique

verfasst von : O. S. Panwar, Ajay Kesarwani, Atul Bisht, Sreekumar Chockalingam, S. R. Dhakate, B. P. Singh, R. K. Rakshit

Erschienen in: Physics of Semiconductor Devices

Verlag: Springer International Publishing

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Filtered cathodic vacuum arc technique has been used to deposit amorphous carbon films of varying thickness on catalytic nickel thin film grown on SiO

2

/Si substrates. Subsequently these a-C films were annealed in vacuum at 650 °C. Raman spectroscopy together with optical microscopy and scanning electron microscopy has revealed multilayer graphene formation.

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Metadaten
Titel
Synthesis of Multilayer Graphene by Filtered Cathodic Vacuum Arc Technique
verfasst von
O. S. Panwar
Ajay Kesarwani
Atul Bisht
Sreekumar Chockalingam
S. R. Dhakate
B. P. Singh
R. K. Rakshit
Copyright-Jahr
2014
Verlag
Springer International Publishing
DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-319-03002-9_166