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01.04.2014 | Ausgabe 1/2014

Measurement Techniques 1/2014

The Effect of Focusing on the Lateral Resolution of an Interference Microscope

Zeitschrift:
Measurement Techniques > Ausgabe 1/2014
Autoren:
G. G. Levin, N. N. Moiseev, Ya. A. Ilyushin, V. L. Minaev
Wichtige Hinweise
Translated from Izmeritel’naya Tekhnika, No. 1, pp. 45–48, January, 2014.
The dependence of the lateral resolution of an interference microscope on the distance between the phase step and the focal plane of the objective of the microscope object channel is analyzed. The results of measurements at several wavelengths, obtained by numerical modeling over a wide range of heights of the phase step and by processing actual phase images, are compared.

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Literatur
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