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20.03.2019 | Technical Paper | Ausgabe 10/2019

Microsystem Technologies 10/2019

The impact of adsorbate mass on a nanomechanical resonator

Zeitschrift:
Microsystem Technologies > Ausgabe 10/2019
Autoren:
Shujun Ma, Xiaoxiao Wang
Wichtige Hinweise

Publisher's Note

Springer Nature remains neutral with regard to jurisdictional claims in published maps and institutional affiliations.

Abstract

We present a theoretical investigation on the dynamic characteristics of a nanomechanical resonator attached with an adsorbate at an arbitrary position. Cantilevered and bridged configurations are both considered for the resonators. Closed-form expressions relating the exact mode shape and the resonant frequency of the loaded resonator are obtained analytically using the Rayleigh–Ritz theorem, from which the relationship between the adsorbate mass and changes in the dynamic characteristics can be obtained. The results indicate that the mode shape change due to adsorption of a relatively large particle can influence the performance of the nanomechanical resonator considerably.

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