Skip to main content
main-content

Tipp

Weitere Artikel dieser Ausgabe durch Wischen aufrufen

09.01.2017 | Ausgabe 8/2017

Journal of Materials Science: Materials in Electronics 8/2017

The property optimization of n-GaN films grown on n-SiC substrates by incorporating a SiNx interlayer

Zeitschrift:
Journal of Materials Science: Materials in Electronics > Ausgabe 8/2017
Autoren:
Shuang Cui, Yuantao Zhang, Zhen Huang, Gaoqiang Deng, Baozhu Li, Degang Zhao, Yuchun Chang

Abstract

We presented the epitaxial growth of n-GaN films on n-SiC substrates with n-Al0.3Ga0.7N buffer and SiNx interlayer by metal organic vapor phase epitaxy. In order to optimize the properties of n-GaN films, a comparative investigation was performed by modifying SiNx deposition time and its insert location. Under the optimal growth parameters of SiNx, the full width at half maximum values of GaN \((0002)\) and \((10\bar{1}2)\) diffraction peaks effectively reduced to 208 and 226 arcsec, respectively. Simultaneously, molten NaOH based wet etchings were used to verify the reduction of the dislocation densities in GaN films. Good vertical conducting characteristics in n-GaN/n-SiC homo-type heterojunction were achieved by inserting SiNx into n-GaN film. Additionally, Raman and low-temperature photoluminescence measurements were employed to determine the stress state in GaN film.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu diesem Inhalt zu erhalten

Sie möchten Zugang zu diesem Inhalt erhalten? Dann informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 69.000 Bücher
  • über 500 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 50.000 Bücher
  • über 380 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Maschinenbau + Werkstoffe




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Wirtschaft"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 58.000 Bücher
  • über 300 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Versicherung + Risiko




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Literatur
Über diesen Artikel

Weitere Artikel der Ausgabe 8/2017

Journal of Materials Science: Materials in Electronics 8/2017 Zur Ausgabe