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2018 | OriginalPaper | Buchkapitel

The Stress and Morphology Evolution of CZO Films Under Different Growth Temperature

verfasst von : Dong Zhao, Yunyan Liu, Shutao Li, Rendong Wang, Junshan Xiu, Gongxiang Wei, Meiling Sun, Mengzhen Song, Shenggui Fu

Erschienen in: Advanced Functional Materials

Verlag: Springer Singapore

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Abstract

Zn1−xCoxO (x = 0.05, CZO) thin films are deposited on Si(111) and glass substrates at different substrate temperatures from 350 to 500 °C. All the CZO films on glass substrates exhibit compressive stress, but for the films deposited on Si substrates, the change from compressive to tensile one is observed. The increase of Ts is favorable for the reduction of stress in the films. Roughness exponent α, RMS roughness w and autocorrelation length ξ are calculated. At lower temperature, for both substrates, α is less than 0.65, indicating lower temperature could not provide sufficient energy for the free migration and diffusion of the deposited atoms. The ratio of w/ξ increases with the increase of Ts from 350 to 450 °C, suggesting that the upward growth of the CZO film depends much more on growth temperature than the lateral one. When the temperature increases further, w/ξ decreases, but the morphology of CZO films shows the same evolution feature in spite of the type of substrate, indicating that Ts plays a dominate role rather than substrates in the ratio of w/ξ CZO films.

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Literatur
1.
Zurück zum Zitat S. Pearton, W. Heo, M. Ivill, D. Norton, Semicond. Sci. Technol. 19, 59–74 (2004)CrossRef S. Pearton, W. Heo, M. Ivill, D. Norton, Semicond. Sci. Technol. 19, 59–74 (2004)CrossRef
2.
Zurück zum Zitat C. Liu, F. Yun, H. Morkoc, J. Mater. Sci.: Mater. Electron. 16, 555–597 (2005) C. Liu, F. Yun, H. Morkoc, J. Mater. Sci.: Mater. Electron. 16, 555–597 (2005)
3.
Zurück zum Zitat V.A.L. Roy, A.B. Djurišić, H. Liu, X.X. Zhang, Y.H. Leung, M.H. Xie, J. Gao, H.F. Lui, C. Surya, Appl. Phys. Lett. 84, 756–758 (2004)CrossRef V.A.L. Roy, A.B. Djurišić, H. Liu, X.X. Zhang, Y.H. Leung, M.H. Xie, J. Gao, H.F. Lui, C. Surya, Appl. Phys. Lett. 84, 756–758 (2004)CrossRef
4.
Zurück zum Zitat W. Prellier, A. Fouchet, B. Mercey, J. Phys.: Condens. Matter 15, 1583–1601 (2003) W. Prellier, A. Fouchet, B. Mercey, J. Phys.: Condens. Matter 15, 1583–1601 (2003)
5.
Zurück zum Zitat H.N. Yang, Y.P. Zhao, G.C. Wang, T.M. Lu, Phys. Rev. Lett. 76, 3774–3777 (1996)CrossRef H.N. Yang, Y.P. Zhao, G.C. Wang, T.M. Lu, Phys. Rev. Lett. 76, 3774–3777 (1996)CrossRef
6.
Zurück zum Zitat A. Shikanai, T. Azuhata, T. Sota, S. Chichibu, A. Kuramata, K. Horino, S. Nakamura, J. Appl. Phys. 81, 417–424 (1997)CrossRef A. Shikanai, T. Azuhata, T. Sota, S. Chichibu, A. Kuramata, K. Horino, S. Nakamura, J. Appl. Phys. 81, 417–424 (1997)CrossRef
7.
Zurück zum Zitat R. Triboulet, J. Perrière, Prog. Cryst. Growth Charact. Mater. 47, 65–138 (2003)CrossRef R. Triboulet, J. Perrière, Prog. Cryst. Growth Charact. Mater. 47, 65–138 (2003)CrossRef
9.
Zurück zum Zitat H.N. Yang, G.C. Wang, T.M. Lu, Diffraction from Rough Surfaces and Dynamic Growth Fronts (World Scientific, Singapore, 1993)CrossRef H.N. Yang, G.C. Wang, T.M. Lu, Diffraction from Rough Surfaces and Dynamic Growth Fronts (World Scientific, Singapore, 1993)CrossRef
10.
Zurück zum Zitat H.J. Qi, L.H. Huang, Z.S. Tang, C.F. Cheng, J.D. Shao, Z.X. Fan, Thin Solid Films 444, 146–152 (2003)CrossRef H.J. Qi, L.H. Huang, Z.S. Tang, C.F. Cheng, J.D. Shao, Z.X. Fan, Thin Solid Films 444, 146–152 (2003)CrossRef
11.
Zurück zum Zitat T.B. Hur, Y.H. Hwang, H.K. Kim, I.J. Lee, J. Appl. Phys. 99, 064308 (2006)CrossRef T.B. Hur, Y.H. Hwang, H.K. Kim, I.J. Lee, J. Appl. Phys. 99, 064308 (2006)CrossRef
12.
Zurück zum Zitat D. Zhang, C.Z. Wang. Y.L. Liu, Q. Shi, W.J. Wang, Opt. Laser. Tech. 44, 1136–1140 (2012) D. Zhang, C.Z. Wang. Y.L. Liu, Q. Shi, W.J. Wang, Opt. Laser. Tech. 44, 1136–1140 (2012)
13.
Zurück zum Zitat A. Dinia, J.P. Ayoub, G. Schmerber, Phys. Lett. A 333, 152–156 (2004)CrossRef A. Dinia, J.P. Ayoub, G. Schmerber, Phys. Lett. A 333, 152–156 (2004)CrossRef
14.
Zurück zum Zitat M. Chen, Z.L. Pei, C. Sun, L.S. Wen, X. Wang, J. Cryst. Growth 220, 254–262 (2000)CrossRef M. Chen, Z.L. Pei, C. Sun, L.S. Wen, X. Wang, J. Cryst. Growth 220, 254–262 (2000)CrossRef
15.
Zurück zum Zitat E. Mollwo, in Landoldt-börnstein, ed. by O. Madelung, M, Schulz, H. Weiss. Zahlenwerte und funktionen aus Naturwiss.u.Technik. Neue Serie (Springer, Berlin, 1982), pp. 35 E. Mollwo, in Landoldt-börnstein, ed. by O. Madelung, M, Schulz, H. Weiss. Zahlenwerte und funktionen aus Naturwiss.u.Technik. Neue Serie (Springer, Berlin, 1982), pp. 35
16.
Zurück zum Zitat R. Cebulla, R. Wendt, K. Ellmer, J. Appl. Phys. 83, 1087–1095 (1998)CrossRef R. Cebulla, R. Wendt, K. Ellmer, J. Appl. Phys. 83, 1087–1095 (1998)CrossRef
18.
Zurück zum Zitat K. Suqiyama, K. Taniquchi, K. Kuwabara, J. Mater. Sci. Lett. 9, 489–492 (1990)CrossRef K. Suqiyama, K. Taniquchi, K. Kuwabara, J. Mater. Sci. Lett. 9, 489–492 (1990)CrossRef
19.
Zurück zum Zitat Y.C. Lee, S.Y. Hu, W. Water, K.K. Tiong, Z.C. Feng, J. Lumin. 129, 148–152 (2009)CrossRef Y.C. Lee, S.Y. Hu, W. Water, K.K. Tiong, Z.C. Feng, J. Lumin. 129, 148–152 (2009)CrossRef
20.
Zurück zum Zitat Y.Y. Liu, C.F. Cheng, S.Y. Yang, H.S. Song, G.X. Wei, C.S. Xue, Y.Z. Wang, Thin Solid Films 519, 5444–5449 (2011)CrossRef Y.Y. Liu, C.F. Cheng, S.Y. Yang, H.S. Song, G.X. Wei, C.S. Xue, Y.Z. Wang, Thin Solid Films 519, 5444–5449 (2011)CrossRef
21.
Zurück zum Zitat T.J. Oliveira, F.D.A. Aarão Reis, Phys. Rev. E. 83, 041608 (2011) T.J. Oliveira, F.D.A. Aarão Reis, Phys. Rev. E. 83, 041608 (2011)
22.
Zurück zum Zitat T.J. Oliveira, F.D.A. Aarão Reis, J. Appl. Phys. 101, 063507 (2007) T.J. Oliveira, F.D.A. Aarão Reis, J. Appl. Phys. 101, 063507 (2007)
23.
Zurück zum Zitat J. Ebothé, A. El Hichou, P. Vautrot, M. Addou, J. Appl. Phys. 93, 632–640 (2003)CrossRef J. Ebothé, A. El Hichou, P. Vautrot, M. Addou, J. Appl. Phys. 93, 632–640 (2003)CrossRef
24.
Zurück zum Zitat M. Kardar, G. Parisi, Y. Zhang, Phys. Rev. Lett. 66, 2348–2350 (1991)CrossRef M. Kardar, G. Parisi, Y. Zhang, Phys. Rev. Lett. 66, 2348–2350 (1991)CrossRef
25.
26.
Zurück zum Zitat D.C. Agarwal, R.S. Chauhan, D.K. Avasthi, S.A. Khan, Kabiraj, I. Sulania, J. Appl. Phys. 104, 024304-024304-8 (2008) D.C. Agarwal, R.S. Chauhan, D.K. Avasthi, S.A. Khan, Kabiraj, I. Sulania, J. Appl. Phys. 104, 024304-024304-8 (2008)
27.
Zurück zum Zitat M. Gedda, N.V.V. Subbarao, D.K. Goswami, Langmuir 30, 8735–8740 (2014)CrossRef M. Gedda, N.V.V. Subbarao, D.K. Goswami, Langmuir 30, 8735–8740 (2014)CrossRef
28.
Zurück zum Zitat R. Kunkel, B. Poelsema, L.K. Verheij et al., Phys. Rev. Lett. 65(6), 733–736 (1990)CrossRef R. Kunkel, B. Poelsema, L.K. Verheij et al., Phys. Rev. Lett. 65(6), 733–736 (1990)CrossRef
Metadaten
Titel
The Stress and Morphology Evolution of CZO Films Under Different Growth Temperature
verfasst von
Dong Zhao
Yunyan Liu
Shutao Li
Rendong Wang
Junshan Xiu
Gongxiang Wei
Meiling Sun
Mengzhen Song
Shenggui Fu
Copyright-Jahr
2018
Verlag
Springer Singapore
DOI
https://doi.org/10.1007/978-981-13-0110-0_1

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    Die im Laufe eines Jahres in der „adhäsion“ veröffentlichten Marktübersichten helfen Anwendern verschiedenster Branchen, sich einen gezielten Überblick über Lieferantenangebote zu verschaffen.