Skip to main content
main-content

Tipp

Weitere Artikel dieser Ausgabe durch Wischen aufrufen

07.09.2015 | Ausgabe 12/2015

Journal of Materials Science: Materials in Electronics 12/2015

The suppression of background doping in selective area growth technique for high performance normally-off AlGaN/GaN MOSFET

Zeitschrift:
Journal of Materials Science: Materials in Electronics > Ausgabe 12/2015
Autoren:
Fan Yang, Yao Yao, Zhiyuan He, Guilin Zhou, Yue Zheng, Liang He, Jincheng Zhang, Yiqiang Ni, Deqiu Zhou, Zhen Shen, Jian Zhong, Zhisheng Wu, Baijun Zhang, Yang Liu

Abstract

In this paper, the selective area growth (SAG) technique is used to regrow thin AlGaN/GaN heterostructure on access region for realizing trench gate normally-off AlGaN/GaN MOSFET. Heavy background doping is found in SAG AlGaN/GaN heterostructure, which is not expected for its degradation on device performance. The background doping originates from SiO2 residuals at SAG interface. Through reducing the deposition temperature of SiO2 mask, background doping can be efficiently suppressed. As a result, the 2 dimensional electron gas transport property of SAG AlGaN/GaN heterostructure improves greatly, which is as good as the as-grown AlGaN/GaN heterostructure. Moreover, the performance of normally-off SAG AlGaN/GaN MOSFET improves greatly by suppression the Si residual on GaN template.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu diesem Inhalt zu erhalten

Sie möchten Zugang zu diesem Inhalt erhalten? Dann informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 69.000 Bücher
  • über 500 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 50.000 Bücher
  • über 380 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Maschinenbau + Werkstoffe




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Wirtschaft"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 58.000 Bücher
  • über 300 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Versicherung + Risiko




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Literatur
Über diesen Artikel

Weitere Artikel der Ausgabe 12/2015

Journal of Materials Science: Materials in Electronics 12/2015 Zur Ausgabe