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2011 | OriginalPaper | Buchkapitel

Thermal Actuators

verfasst von : Prof. Dr. rer. nat. Werner Karl Schomburg

Erschienen in: Introduction to Microsystem Design

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

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Abstract

If the linear dimensions of a device are reduced, its mass decreases with the third power, while its surface decreases only proportional to the square (cf. page 3). As a consequence, the ratio of surface to volume or mass is very large for microdevices. This means, that a microdevice is heated up much more quickly and with less energy consumption, because of its small mass, and is cooling down more quickly due to its large surface to mass ratio. Therefore, heating up is a suitable actuation principle for a lot of microdevices, while it is not a good solution for macroscopic devices. The ink-jet printer is a good example (cf. page 251).

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Literatur
51.
Zurück zum Zitat Franz J, Baumann H, Trah H-P (1996) A monolithic silicon micro-liquid handling system with bimetallic valve and calorimetric flow sensor. In: Proceedings of the 5th international conference on new actuators, ACTUATOR’96, Bremen, 1996, pp 29–32 Franz J, Baumann H, Trah H-P (1996) A monolithic silicon micro-liquid handling system with bimetallic valve and calorimetric flow sensor. In: Proceedings of the 5th international conference on new actuators, ACTUATOR’96, Bremen, 1996, pp 29–32
52.
Zurück zum Zitat Lisec T, Hoerschelmann S, Quenzer HJ, Wagner B, Benecke W (1994) A fast switching silicon valve for pneumatic control systems. In: Proceedings of the 4th international conference on new actuator, Actuator’94, 1994, pp 30–33 Lisec T, Hoerschelmann S, Quenzer HJ, Wagner B, Benecke W (1994) A fast switching silicon valve for pneumatic control systems. In: Proceedings of the 4th international conference on new actuator, Actuator’94, 1994, pp 30–33
Metadaten
Titel
Thermal Actuators
verfasst von
Prof. Dr. rer. nat. Werner Karl Schomburg
Copyright-Jahr
2011
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-642-19489-4_13

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